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超高分辨场发射扫描电子显微镜
适用于纳米尺度、超高分辨率观察的电子光学系统和支持各种应用的信号检测系统
仪器品牌:日立 HITACHI
仪器型号:Regulus 系列
Regulus 系列技术特点
Regulus 系列
技术参数
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热场式场发射扫描电镜
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