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X射线荧光测厚仪

一纳米定成败

仪器品牌：日立 HITACHI

仪器型号：FT160

即使是1纳米也会产生巨大差异，所以，您需要一台高端XRF 镀层测厚仪满足当今电子行业及未来纳米分析的需求，为微型结构选择精准分析。

FT160技术特点

高强度X射线-仪器的核心所在是全新的毛细管聚焦光学系统，其具备的30um光束适合于测量微小的半岛体图案和超小型元件。

●  最优分辨率硅漂移探测器-这一高性能装置使计数率加倍，确保实施可重复测量以提高生产力。

●  大型样品室门-便于操作员装载和卸载样品，此外，FT160还具有宽敞的样品室，以容纳各种形状的样品，封闭式样品室也最大
限度提高安全性。

●  高清相机-样品观察相机的分辨率得到提高-且具有16倍数字变焦功能-使半导体表面清晰准确，从而最大限度地减少失真和重复测试。

●  全新控制器软件-只需在屏幕上确定最佳测量点，然后运行分析。
●  可确定从铝（11）到铀（92）等多种金属的镀层厚度。

FT160技术参数

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